MOCVD机台设备滤芯IMG_20170608_150115

凯洛特-供应的 VEECO 公司 MOCVD 设备 K-465 ， K465i ， E-300 机型的滤芯 ， 光电设备滤芯  G5 除尘滤芯  外延设备滤芯  纤维折叠滤芯 。 LED设备用各类过滤器，型号齐全，质量保证，可有效保护设备 。 采用304不锈钢材质、进口玻璃纤维，耐高温性好，抗酸碱。 产品优势: 1. 价格优势 2. 高效的过滤杂质能力，过滤精度高，使用寿命长。 3. 产品性能优势经客户验证和认可 4. 可根据客户要求设计，订做。（调整：尺寸，使用材料，整体构造等）为客户产品打造 合适的滤芯，确保各种过滤要求，达到 过滤效果。MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 是生长高质量半导体薄膜材料的 技术，在LED 、半导体激光器、太阳能电池等多个领域都有应用。现有MOCVD 设备 的成本非常高，且完全依赖进口，进行MOCVD 设备研究对国内半导体产业、新能源 领域以及 技术的发展都很有必要。 MOCVD 设备可以分为核心的腔体反应室、加热器、冷却系统、气体输运系统以 及整体控制系统。本文重点研究了气体输运系统的设计，包括结构组成和部分控制难 点，并对该系统今后的发展陈述了自己的观点。 气体输运系统的作用是把包括载气和源气在内的所有气体输送至腔体参与反应， 并把反应后的气体输送至排气管路进行尾气处理。气体输运包括源供给系统， 反应室内多余的气体带入尾气处理系统。由于腔体内管路很复杂，而且避免MO 源的壁面沉积) 对气体流经的关键管路持续吹扫。基于 考虑，设备需 要定期进行泄漏检查。 由于MOCVD 系统中所采用的大多数源均易燃易爆，雨其中的 化物源又有剧毒，因此，必须对反应过后的尾气进行处理。通常采用的处理方式是将尾气先通过微粒过滤器去除其中的微粒。