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酸雾除雾器、纤维除雾器源头厂家
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产品类别：LED外延设备滤芯
产品说明：K465i，E-300 机型滤芯MOCVD设备可以分为核心的腔体反应室、加热器、冷却系统、气体输运系统以及整体控制系统。
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PRODUCT INTRODUCTION
K465i，E-300 机型滤芯
MOCVD设备可以分为核心的腔体反应室、加热器、冷却系统、气体输运系统以
及整体控制系统。本文重点研究了气体输运系统的设计，包括结构组成和部分控制难
点，并对该系统今后的发展陈述了自己的观点。
气体输运系统的作用是把包括载气和源气在内的所有气体输送至腔体参与反应，
并把反应后的气体输送至排气管路进行尾气处理。气体输运包括源供给系统，
反应室内多余的气体带入尾气处理系统。由于腔体内管路很复杂，而且避免MO源的壁面沉积
)对气体流经的关键管路持续吹扫。基于 考虑，设备需
要定期进行泄漏检查。
